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(日本語) 観察・分析装置
透過電子顕微鏡 Transmission Electron Microscopy (TEM)
型式(社名):
H-7650(日立)
稼働日:
2007年7月
分解能:
0.2nm(格子像・100kV時)
試料回転:
Limit傾斜角±45°
CCDカメラ:
画素数2,048×2,048
(アメリカAMT社製XR-41C)
透過電子顕微鏡 Transmission Electron Microscopy (TEM)
型式(社名):
JEM-1400Flash(日本電子)
稼働日:
2020年7月
分解能:
0.14nm
試料回転:
Limit傾斜角±45°
CMOSカメラ:
画素数2,048×2,048
その他:
広視野モンタージュシステム搭載
電界放出型走査電子顕微鏡 Field emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM)
型式(社名):
JSM-7900F(日本電子)
稼働日:
2020年4月
分解能:
0.6nm(15kV時),0.7nm(1kV時),
1nm(0.5kV時)
その他:
エネルギー分散型分析装置搭載(JED-2300F)
特徴:
アレイトモグラフィー法
・タイリングが可能
→樹脂包埋した生物試料などから連続超薄切片
を作製後、各切片の同一場所をSEMで撮影し、
その連続断層画像を積み重ねることにより
三次元的データを取得することができる
集束イオンビーム走査電子顕微鏡 Focused ion Beam Scanning Electron Microscope(FIB-SEM)
型式(社名):
Crossbeam540(Carl ZEISS)
稼働日:
2017年11月
分解能:
0.9nm(15kV時),1.8nm(1kV時)
特徴:
FIBによる試料切削とSEMでの撮影を
繰り返すことにより内部構造の三次元
的データを取得することができる
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