menu

観察・分析装置

透過電子顕微鏡 Transmission Electron Microscopy （TEM）

型式（社名）: H-7650（日立）
稼働日: 2007年7月
分解能: 0.2nm（格子像・100ｋV時）
試料回転: Limit傾斜角±45°
CCDカメラ: 画素数2,048×2,048
(アメリカAMT社製XR-41C）

透過電子顕微鏡 Transmission Electron Microscopy （TEM）

型式（社名）: JEM-1400Flash（日本電子）
稼働日: 2020年7月
分解能: 0.14nm
試料回転: Limit傾斜角±45°
CMOSカメラ: 画素数2,048×2,048
その他: 広視野モンタージュシステム搭載

電界放出型走査電子顕微鏡 Field emission Scanning Electron Microscopy （FE-SEM）

型式（社名）: JSM-7900F（日本電子)
稼働日: 2020年4月
分解能: 0.6nm（15kV時）,0.7nm（1kV時）,
1nm（0.5kV時）
その他: エネルギー分散型分析装置搭載（JED-2300F）
特徴:

タイリングが可能
→樹脂包埋した生物試料などから連続超薄切片
　を作製後、各切片の同一場所をSEMで撮影し、
　その連続断層画像を積み重ねることにより
　三次元的データを取得することができる

アレイトモグラフィー法・パノラマ観察法・反射電子観察法が可能

集束イオンビーム走査電子顕微鏡 Focused ion Beam Scanning Electron Microscope（FIB-SEM）

型式（社名）: Crossbeam540（Carl ZEISS）
稼働日: 2017年11月
分解能: 0.9nm（15kV時）,1.8nm（1kV時）
特徴:

FIBによる試料切削とSEMでの撮影を
繰り返すことにより内部構造の三次元
的データを取得することができる

FIB-SEM法